• 《工程索引》(EI)刊源期刊
    • 中文核心期刊
    • 中國科技論文統計源期刊
    • 中國科學引文數據庫來源期刊

    留言板

    尊敬的讀者、作者、審稿人, 關于本刊的投稿、審稿、編輯和出版的任何問題, 您可以本頁添加留言。我們將盡快給您答復。謝謝您的支持!

    姓名
    郵箱
    手機號碼
    標題
    留言內容
    驗證碼

    DC PJ-CVD等離子體炬通道中的電弧行為

    李惠琪 鐘國仿 呂反修 楊讓

    李惠琪, 鐘國仿, 呂反修, 楊讓. DC PJ-CVD等離子體炬通道中的電弧行為[J]. 工程科學學報, 1994, 16(6): 547-550. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.06.009
    引用本文: 李惠琪, 鐘國仿, 呂反修, 楊讓. DC PJ-CVD等離子體炬通道中的電弧行為[J]. 工程科學學報, 1994, 16(6): 547-550. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.06.009
    Li Huiqi, Zhong Guofang, Lu Fanxiu, Yang Rang. Arc Action in Passage of DC PJ-CVD Plasma Torch[J]. Chinese Journal of Engineering, 1994, 16(6): 547-550. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.06.009
    Citation: Li Huiqi, Zhong Guofang, Lu Fanxiu, Yang Rang. Arc Action in Passage of DC PJ-CVD Plasma Torch[J]. Chinese Journal of Engineering, 1994, 16(6): 547-550. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.06.009

    DC PJ-CVD等離子體炬通道中的電弧行為

    doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.06.009
    詳細信息
      作者簡介:

      李惠琪 男 40歲 博士

    • 中圖分類號: TF748.93

    Arc Action in Passage of DC PJ-CVD Plasma Torch

    • 摘要: 運用電磁學和熱流體學的方法研究了直流大陽極噴嘴長電弧通道等離子體炬中電弧的行為,并通過實驗證明了溫度梯度與電場梯度作用于流體時所產生的特殊現象;結果表明:電弧弧柱的高溫效應劇烈排斥冷氣流的混入,使CVD過程受到抑制.新產生的膠體粒子在熱泳現象作用下逐漸沉積于通道內壁上.改變不同氣體的進氣位置以及減小溫度與電場梯度并增設徑向旋轉磁場,可有效地解決上述問題.

       

    • 加載中
    計量
    • 文章訪問數:  233
    • HTML全文瀏覽量:  53
    • PDF下載量:  4
    • 被引次數: 0
    出版歷程
    • 收稿日期:  1993-04-20
    • 網絡出版日期:  2021-11-13

    目錄

      /

      返回文章
      返回
      中文字幕在线观看