CVD金剛石薄膜的織構分析

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CVD金剛石薄膜的織構分析

毛衛民, 陳楠

文章導航 > 工程科學學報 > 2000 > 22(3): 259-261

毛衛民, 陳楠. CVD金剛石薄膜的織構分析[J]. 工程科學學報, 2000, 22(3): 259-261. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.03.019

引用本文:

毛衛民, 陳楠. CVD金剛石薄膜的織構分析[J]. 工程科學學報, 2000, 22(3): 259-261. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.03.019

MAO Weimin, CHEN Nan. Texture Analysis of CVD Diamond Thin Films[J]. Chinese Journal of Engineering, 2000, 22(3): 259-261. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.03.019

Citation:

MAO Weimin, CHEN Nan. Texture Analysis of CVD Diamond Thin Films[J]. Chinese Journal of Engineering, 2000, 22(3): 259-261. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.03.019

毛衛民, 陳楠. CVD金剛石薄膜的織構分析[J]. 工程科學學報, 2000, 22(3): 259-261. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.03.019

引用本文:

毛衛民, 陳楠. CVD金剛石薄膜的織構分析[J]. 工程科學學報, 2000, 22(3): 259-261. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.03.019

MAO Weimin, CHEN Nan. Texture Analysis of CVD Diamond Thin Films[J]. Chinese Journal of Engineering, 2000, 22(3): 259-261. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.03.019

Citation:

MAO Weimin, CHEN Nan. Texture Analysis of CVD Diamond Thin Films[J]. Chinese Journal of Engineering, 2000, 22(3): 259-261. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.03.019

CVD金剛石薄膜的織構分析

doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.03.019

毛衛民¹,
陳楠^1,2

1. 北京科技大學材料科學與工程學院, 北京 100083;
2. 石油大學(北京)材料科學與工程系 102200

基金項目:

國家“863”工程重點資助課題(No.863-715-Z3803)

作者簡介:
毛衛民，男,49歲,教授

中圖分類號: TB303
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出版歷程
- 收稿日期: 2000-04-10
- 網絡出版日期: 2021-08-27

Texture Analysis of CVD Diamond Thin Films

MAO Weimin¹,
CHEN Nan^1,2

1. Materials Science and Engineering School, UST Beijing Beiing 100083, China;
2. Department of Materials Science and Engineering, University of Petroleum, Beijing 102200, China

摘要: 采用極圖和取向分布函數法分析CVD金剛石薄膜的不同織構.分析表明,高的多重性因子使得{110}面織構有更高的出現概率.具體分析了{221}面織構出現的孿生機制,強調了織構與性能關系研究的重要性,并推薦使用先進織構分析手段.
- 金剛石薄膜 /
- 面織構 /
- 化學氣相沉積 /
- 織構生成
Abstract: Different textures of CVD diamond thin films are analyzed using the methods of pole figure and orientation distribution function. It is shown that the higher multiplicity leads to the higher appearance possibility of {110} fiber texture. The formation mechanism of {221} fiber texture by means of twinning effect is discussed. The importance of the systematic investigation on the relatonship between tetures and properties is emphasized, and the advanced methods for texture analysis are recommended.
- diamond thin film /
- the texture /
- CVD /
- texture formation

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