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    大面積CVD金剛石膜的熱鐵板拋光

    劉敬明 蔣政 張恒大 呂反修 唐偉忠

    劉敬明, 蔣政, 張恒大, 呂反修, 唐偉忠. 大面積CVD金剛石膜的熱鐵板拋光[J]. 工程科學學報, 2001, 23(1): 42-44. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2001.01.038
    引用本文: 劉敬明, 蔣政, 張恒大, 呂反修, 唐偉忠. 大面積CVD金剛石膜的熱鐵板拋光[J]. 工程科學學報, 2001, 23(1): 42-44. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2001.01.038
    LIU Jingming, JIANG Zheng, ZHANG Hengda, LV Fanxiu, TANG Weizhong. Thermo-Chemical Polishing of Large Area CVD Diamond Films[J]. Chinese Journal of Engineering, 2001, 23(1): 42-44. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2001.01.038
    Citation: LIU Jingming, JIANG Zheng, ZHANG Hengda, LV Fanxiu, TANG Weizhong. Thermo-Chemical Polishing of Large Area CVD Diamond Films[J]. Chinese Journal of Engineering, 2001, 23(1): 42-44. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2001.01.038

    大面積CVD金剛石膜的熱鐵板拋光

    doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2001.01.038
    基金項目: 

    國家"863"計劃資助重大項目(NO.863-715-Z38-03)

    詳細信息
      作者簡介:

      劉敬明 男,30歲,博士

    • 中圖分類號: TB43

    Thermo-Chemical Polishing of Large Area CVD Diamond Films

    • 摘要: 研制成功國內第1臺大面積CVD金剛石膜熱鐵板拋光機.它可以在10-3Pa真空條件下,加熱到1 100℃;拋光臺可以在0~10 r/min間實現無級調速,一次完成3片φ110 mm的金剛石膜的拋光.金剛石膜在980℃,2 h拋光的結果表明該裝置有良好的拋光效果.金剛石膜在980℃拋光不同時間的Raman譜表明,金剛石熱鐵板拋光是金剛石石墨化和C原子不斷擴散的過程.

       

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    • 收稿日期:  2000-08-28

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