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    硅粉常壓直接氮化過程的非催化氣固反應模型

    楊福明 王立 尹少武 李延輝

    楊福明, 王立, 尹少武, 李延輝. 硅粉常壓直接氮化過程的非催化氣固反應模型[J]. 工程科學學報, 2013, 35(6): 785-792. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2013.06.002
    引用本文: 楊福明, 王立, 尹少武, 李延輝. 硅粉常壓直接氮化過程的非催化氣固反應模型[J]. 工程科學學報, 2013, 35(6): 785-792. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2013.06.002
    YANG Fu-ming, WANG Li, YIN Shao-wu, LI Yan-hui. Noncatalytic gas-solid reaction model for directly nitridizing silicon powder under atmospheric pressure[J]. Chinese Journal of Engineering, 2013, 35(6): 785-792. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2013.06.002
    Citation: YANG Fu-ming, WANG Li, YIN Shao-wu, LI Yan-hui. Noncatalytic gas-solid reaction model for directly nitridizing silicon powder under atmospheric pressure[J]. Chinese Journal of Engineering, 2013, 35(6): 785-792. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2013.06.002

    硅粉常壓直接氮化過程的非催化氣固反應模型

    doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2013.06.002
    基金項目: 

    國家自然科學基金資助項目(51076010)

    國家重點基礎研究發展計劃資助項目(2012CB720406)

    詳細信息
      通訊作者:

      王立,E-mail:liwang@me.ustb.edu.cn

    • 中圖分類號: TQ174.6

    Noncatalytic gas-solid reaction model for directly nitridizing silicon powder under atmospheric pressure

    • 摘要: 以平均粒徑2.2μm、純度99.99%的硅粉為原料,采用純度99.993%的高純氮氣作為反應氣體,在1350和1400℃下進行了氮化時間為10~30 min的氮化實驗,得出了不同溫度下硅粉轉化率隨反應時間的變化關系.將硅氮反應看成非催化氣固反應,建立了硅顆粒氮化動力學模型.通過對實驗數據的擬合,得出兩個模型參數:硅氮反應速率常數和氮氣在產物層中的擴散系數.假定反應速率常數和擴散系數均滿足阿倫尼烏斯公式,求得化學反應激活能和指前因子分別為2.71×104J·mol-1和3.07×10-5m·s-1,擴散激活能和指前因子分別為1.06×105J·mol-1和1.12×10-9m2·s-1.利用本文得出的氮化動力學模型對各溫度下不同粒徑硅粉的轉化曲線進行了預測,預測曲線與文獻中的實驗數據在趨勢上吻合較好.

       

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    出版歷程
    • 收稿日期:  2012-03-05

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